中文版
English
欄目導(dǎo)航
能量色散譜儀 （EDS)
您現(xiàn)在的位置：首頁 >> 能量色散譜儀 （EDS)
SEM/EDS- 掃描電子顯微鏡/能量色散譜儀
掃描電子顯微鏡 （SEM）是一種采用電子源入射的高分辨成像儀器，其拍攝的圖片與光學(xué)顯微鏡比具有更高的放大倍率，良好的景深等特點(diǎn)。樣品不同的材質(zhì)和不同的表面形貌在電子入射下會(huì)產(chǎn)生不同量的電子，從而在圖片上呈現(xiàn)不同的灰度。
X射線能譜儀(EDS)是一種能和掃描電子顯微鏡（SEM）相結(jié)合的一種分析能力，EDS能提供直徑小至納米級(jí)別的區(qū)域的元素分析。電子束轟擊試樣表面產(chǎn)生代表特征元素的X射線。利用EDS，您可以測(cè)定單個(gè)點(diǎn)的元素組成，也可以得到測(cè)試區(qū)域內(nèi)的元素分布圖，可定性定量測(cè)定樣品的元素組成。
技術(shù)參數(shù)
檢測(cè)信息：來自樣品表面的二次電子，背散電子，X-RAY
元素測(cè)定：B-U
檢測(cè)限：0.1 – 1 at%
深度分辨率：0.5 – 3 μm
主要應(yīng)用
· 樣品表面的結(jié)構(gòu)和形貌
· 樣品的元素組成
· 表面顆粒物/污染物/腐蝕的分析
· 鍍層厚度和成分分析
相關(guān)行業(yè)應(yīng)用
· 航空航天
· 汽車
· 生物醫(yī)學(xué)與生物技術(shù)
· 化合物半導(dǎo)體
· 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
· 國防
· 顯示器
· 電子
· 工業(yè)產(chǎn)品
· 照明
· 制藥
· 光電子
· 聚合物
· 半導(dǎo)體
· 太陽能光伏發(fā)電
分析的優(yōu)勢(shì)
· 快速分析
· 多功能，廉價(jià)，應(yīng)用廣泛
· 部分樣品的定量（平坦、拋光過、均質(zhì)）
分析的局限性
· 對(duì)于不平坦、未拋光、不均質(zhì)樣品的半量化
· 樣品必須導(dǎo)電性好, 真空相容性好（對(duì)于有機(jī)材料不是很理想）
· 低Z 元素靈敏度限制
· 分析后或表面噴鍍后對(duì)后續(xù)表面分析有影響
· 較低的探測(cè)靈敏度